硅基材料主要用途

硅基材料的主要用途是在各类半导体器件上的应用，主要以功率器件、微波器件为应用和发展方向。硅基材料是以硅材料为基础发展起来的新型材料，包括绝缘层上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体...